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等離子焦耳加熱裝置是將普通款焦耳加熱裝置的腔體更換成等離子體反應(yīng)器,并增加等離子體發(fā)生器。該裝置既可以滿足普通的焦耳加熱,還可在腔體內(nèi)形成低溫等離子體,作為等離子體反應(yīng)器使用,反應(yīng)器內(nèi)可通氮?dú)狻⒑?、低濃度氧混合氣以及其他混合氣體形成不同氣氛環(huán)境下的等離子體,該設(shè)備最高溫度可達(dá) 3000℃。
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